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CGO高低溫真空探針臺(tái)
  • CGO高低溫真空探針臺(tái)

CGO高低溫真空探針臺(tái)

CGO系列高低溫真空探針臺(tái)可滿足6 英寸樣品測試,高真空結(jié)構(gòu)可避免低溫結(jié)霜、高溫氧化等情況,保證測試準(zhǔn)確性。可用于晶圓測試、 LED 測試、功率器件測試、光電測試、場晶體效應(yīng)管測試等不同產(chǎn)品和應(yīng)用場景,亦可升級(jí)做射頻測試。

CGO系列高低溫真空探針臺(tái)

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?產(chǎn)品介紹

高低溫真空探針臺(tái).png

?1.1 功能介紹

CGO系列高低溫真空探針臺(tái)可滿足6?英寸樣品測試,高真空結(jié)構(gòu)可避免低溫結(jié)霜、高溫氧化等情況,保證測試準(zhǔn)確性。可用于晶圓測試、?LED?測試、功率器件測試、光電測試、場晶體效應(yīng)管測試等不同產(chǎn)品和應(yīng)用場景,亦可升級(jí)做射頻測試。

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1.2 技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

基本參數(shù)

CGO-2CGO-4CGO-6
腔體樣品臺(tái)尺寸

2英寸

4英寸

6英寸

樣品固定

彈簧壓片

觀察窗口

2英寸

4英寸

6英寸

真空度

10-5torr

探針臂接口

最多4個(gè)探針臂接口

最多6個(gè)探針臂接口

其他接口

電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

溫控系統(tǒng)

制冷方式

液氮/液氣/制冷機(jī)

溫度范圍

77K?到?573K/4.5K?到?573K

溫控精度

0.1K/0.01K/0.001K

穩(wěn)定性

±1K/±0.1K/±0.01K

顯微鏡

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程

水平360度旋轉(zhuǎn),Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針臂

X-Y-Z移動(dòng)行程

50mm*50mm*50mm

結(jié)構(gòu)

外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度

10微米/I微米

探針夾具

線纜

同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

探針

頻率支持

DC-110GHz

針尖直徑

0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

材質(zhì)

鎢鋼/鈹銅

真空組件

分子泵組/機(jī)械泵/離子泵

冷源組件

50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷機(jī)

外形

880mm?長*880mm?寬*600mm?高

980mm?長*980mm?寬*600mm?高

重量

約100千克

約120千克

可選附件

超高溫配件

屏蔽箱

高壓測試配件

顯示器

光學(xué)平臺(tái)

分子泵組

轉(zhuǎn)接頭

鍍金卡盤

激光系統(tǒng)

射頻測試配件

光電測試配件

氣敏測試配件

根據(jù)客戶要求定制


應(yīng)用案例:

北京師范大學(xué)CGO探針臺(tái).png華為OCG高低溫探針臺(tái).png
中國石油大學(xué)CGO高低溫真空探針臺(tái).png西南交通大學(xué)OCG高低溫真空探針臺(tái).png南方科技大學(xué)OCG高低溫真空探針臺(tái).png


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